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Universität Duisburg-Essen (Institut für Soziale Arbeit und Sozialpolitik)

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Vakuumbeschichtung Viola Eckelt Universität Duisburg-Essen (Institut für SozialeSchwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstubung, teilchengesttzte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD). Verfahren und Anlagen