Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik Gisela and Geography on the Distribution

and Geography on the Distribution of Gene Frequencies / CRAWFORD

Hinsichtlich der Leiharbeit ist eine leichte Konvergenz ersichtlich

Abstract: In dieser Ausarbeitung wird der Umgang von Kindern mit Tod untersucht

von denen es eine Vielzahl gibt

Abstract: Mit dieser Ausarbeitung wird versucht

Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik Gisela and Geography on the DistributionDiplomarbeit aus dem Jahr 2004 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1,3, Technische Universitt Chemnitz (Fakultt fr Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum fr Mikrotechnologien), Sprache: Deutsch, Abstract: Vor dem Hintergrund der in der Mikroelektronik Fertigung heute verbreiteten Kupfertechnologie werden in der vorliegenden Arbeit drei neuartige metallorganische Verbindungen, nmlich phosphitstabilisierte Kupfer(I) Trifluoracetat Komplexe